Mokomat
Die Reinheit der Luft wird in Reinräumen einmal durch die Anzahl der Partikel in der Luft und durch die molekulare Belastung definiert. Die molekulare Kontamination spielt in erster Linie in Reinräumen der Halbleiterfertigung oder bei Beschichtungen von Oberflächen (optische Industrie, Lackierung, etc.) eine Rolle.
Bis dato war die Messung derartiger Kontamination nur durch die Verwendung von Tenaxröhrchen oder von aufwändigen Analysegeräten möglich. CCI hatein Gerät entwickelt das diese Kontamination im Minutentakt online erfasst.
Technische Daten
- Gewicht:
- Abmessungen:
- Das Gerät arbeitet berührungsfrei auf optischem Wege
- Schichtdicke wird permanent gemessen
- Auflösung in Pikometern [pm]
- Kontamination wird online erfasst
Lieferumfang
- Mokomat
- Steuer- und Auswerteeinheit
- Transportkoffer
- Bedienungsanleitung
Optionales Zubehör
- nicht vorhanden